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漢鐘精機接受機構調研時表示，公司氫能源用空壓泵目前還在研發、驗證階段。公司半導體真空泵在清潔、中度嚴苛、嚴苛制程都有在推廣使用，具體運用于LL、去膠、刻蝕、PVD、CVD等制程。目前多用于相對潔凈的制程。
關鍵詞： 漢鐘精機
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