從99%到100%，看似只是1%的進(jìn)步，對(duì)于芯片制造廠的排氣管道風(fēng)閥而言，卻是實(shí)現(xiàn)質(zhì)的改變。芯片生產(chǎn)過程中，往往會(huì)產(chǎn)生少量的有毒有害氣體，如何將這部分氣體徹底排出車間，影響著生產(chǎn)車間的安全干凈和生產(chǎn)效率，也關(guān)乎生產(chǎn)工人們的健康安全。
2020年落戶通州灣示范區(qū)的江蘇晨達(dá)半導(dǎo)體科技有限公司，就是為半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠提供專業(yè)的制程排氣系統(tǒng)工程服務(wù)，包括排氣管道和風(fēng)閥的研發(fā)、生產(chǎn)和安裝等，是眾多芯片大廠追“芯”路上的重要配套“伙伴”，該公司目前處于行業(yè)前三甲，服務(wù)對(duì)象包括中芯國際、長江存儲(chǔ)、武漢新芯等。
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“因?yàn)樾酒瑥S里面有許多種毒氣、酸堿或者有機(jī)化學(xué)品，在生產(chǎn)芯片的過程中，這些特殊氣體和化學(xué)品必須從生產(chǎn)廠房里排出，所以就通過我們的管道排到室外，經(jīng)過適當(dāng)環(huán)保處理，達(dá)到環(huán)保法規(guī)的排氣標(biāo)準(zhǔn)之后才能排到大氣里。”江蘇晨達(dá)半導(dǎo)體科技有限公司總經(jīng)理高瑞祥說。
據(jù)了解，該公司首創(chuàng)的將閥門葉片做三元乙丙膠熱處理注模全面包覆工藝，借此達(dá)到以膠和葉片本體直接接觸，以膠體本身之柔韌性，在承受2000psi之高氣壓下，保持葉片間隙不泄漏、膠體不脫落，最大化改善以往業(yè)界閥門氣密性不良以及氣密條容易脫落的缺點(diǎn)，讓漏氣量降到最低。“最讓我們感到驕傲的是，自主研發(fā)的閥門產(chǎn)品達(dá)到國際氣密標(biāo)準(zhǔn)的最高等級(jí)，而經(jīng)上海同濟(jì)大學(xué)實(shí)驗(yàn)室實(shí)測(cè)，泄漏率已經(jīng)遠(yuǎn)超世界最高級(jí)水平，目前已積極申請(qǐng)國際認(rèn)證。”高瑞祥說。
為了方便記者理解，高瑞祥特意在白色黑板上，畫出了排氣管道、風(fēng)閥以及芯片廠排氣設(shè)備的示意圖，隨后在風(fēng)閥位置寫下“短循環(huán)”三個(gè)字，高瑞祥告訴記者，一般排氣管聯(lián)通多個(gè)風(fēng)閥，排氣過程中會(huì)有一個(gè)風(fēng)閥關(guān)閉，如果氣密性達(dá)不到100%，這個(gè)即使關(guān)閉的風(fēng)閥也會(huì)倒吸入一部分有毒有害氣體，不利于充分排出氣體，同時(shí)造成能耗的浪費(fèi)。
在高瑞祥看來，風(fēng)閥氣密性從99%到100%，這僅僅1%的進(jìn)步，對(duì)于芯片廠管道排氣而言至關(guān)重要，同時(shí)也為江蘇晨達(dá)帶來可觀的經(jīng)濟(jì)效應(yīng)。風(fēng)閥在整個(gè)排氣管道系統(tǒng)的占比面積僅十分之一，提升1%卻意味著風(fēng)閥的價(jià)值卻翻了5-10倍。高瑞祥告訴記者，以前風(fēng)閥都依賴進(jìn)口，如今實(shí)現(xiàn)自主研發(fā)生產(chǎn)后，成本降低到原來的三分之一，對(duì)于芯片廠而言無疑吸引力巨大，同時(shí)這也是江蘇晨達(dá)得的市場競爭力所在，今年銷售有望超6000萬元。
“風(fēng)閥本來是金屬對(duì)金屬，可能因?yàn)榻饘俚奶匦裕瑳]辦法完全氣密，所以我們就想是不是在外面用軟性的膠把它包覆起來，兩個(gè)夾起來后就會(huì)完全密合了。”高瑞祥告訴記者，這項(xiàng)研發(fā)創(chuàng)新用時(shí)半年，是公司員工們思維碰撞而產(chǎn)生，經(jīng)過第三方實(shí)驗(yàn)確實(shí)可行。目前，已申請(qǐng)了方形和圓形兩種風(fēng)閥專利。
隨后，高瑞祥又帶著記者感受真實(shí)的排氣管道風(fēng)閥，記者看到不銹鋼結(jié)構(gòu)占據(jù)著排風(fēng)管道的大部分體積，而圓形的風(fēng)閥完全密合著，看不見閥門的縫隙。“透過風(fēng)閥看，光線是無法照過來的。”高瑞祥頗為自信地說。除了風(fēng)閥，管道還需要具備耐熱、防酸和防腐蝕等特性，看似不復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，卻也藏著不少“黑科技”，據(jù)統(tǒng)計(jì)，江蘇晨達(dá)自2020年落戶以來，已累計(jì)獲得17項(xiàng)專利。目前，江蘇晨達(dá)也在積極申報(bào)省高新技術(shù)企業(yè)。
今年57歲的高瑞祥從事半導(dǎo)體行業(yè)已有30多年，依舊希望在這條賽道上散發(fā)自身光熱，并給江蘇晨達(dá)和自身制定了明確目標(biāo)：“接下來，我們還將進(jìn)行生產(chǎn)工藝的創(chuàng)新，希望把芯片廠的環(huán)保處理設(shè)施也納入進(jìn)來，形成更加系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)體系，拿出一套整體解決方案，整體成本降低的同時(shí)，生產(chǎn)效率變得更高。”
揚(yáng)子晚報(bào)/紫牛新聞?dòng)浾?朱亞運(yùn) 通訊員 陳玲麗
校對(duì) 徐珩
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