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大族激光在互動平臺表示，目前公司光刻機項目主要應用在分立器件領域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻機已投入市場，步進式光刻機已啟動用戶優化，公司將根據市場需求及業務發展情況持續制定研發計劃，并加大研發核心部件國產化。

關鍵詞：大族激光分立器件步進式光刻機

責任編輯：QL0009

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